上图来自COMSOL等离子体模块，显示了用于半导体器件制造的氩气ICP反应器内部的电子温度
伯灵顿（2010年7月2日）——COMSOL Multiphysics 仿真软件的研发公司COMSOL公司今日宣布推出等离子体模块。基于COMSOL Multiphysics，等离子体模块是一款易用的低温等离子体研究工具。等离子体模块专为等离子体科学领域的研究人员、工程师及试验者而设计，帮助他们对发生在广泛的工程范围内的非平衡放电问题进行模拟。该模块可应用于光源、半导体工艺、表面涂层及医疗消毒等领域。模块带有一整套的教程和相关的工业案例，这些案例既可以作为教学案例，也可以作为今后工作的基础。
“等离子体的模拟是一项非常艰巨的工作，随着真正的多物理场技术的引入，情况正在有所转变，”Dan Smith，COMSOL公司等离子体模块的首席开发人员向我们介绍：“我们充分利用等离子体模块中的这项技术，来求解构成等离子体的电磁场和带电粒子之间复杂的相互作用问题。用户可以模拟各式各样的等离子体应用，从而减少对昂贵的试验的需求并提高生产效率。”
专业的等离子体模拟界面
低温等离子体融合了流体力学、反映工程、物理动力学、热传、质量传递和电磁场等学科。最终的结果是一个真正的多物理场耦合问题。等离子体模块提供了专业的应用界面，可以自动实现组成等离子体的各个物理场之间的复杂耦合。
模块为常见的等离子体反应器类型设置的专门的接口，包括电感耦合等离子体（ICP）、直流放电、波动热放电（微波等离子体）以及电容耦合等离子体（CCP）。与现有的COMSOL产品相同，用户可以对每个接口进行定制、修改以及以任意方式进行延伸。
用户可以通过等离子模块向导选择需要模拟的等离子体类型。本图中显示用户选择了电感耦合等离子体物理接口。
对于理解放电过程的电特性，模拟等离子体和外部电路之间的相互作用是一个非常重要的部分。等离子体模块提供了一个将电路元件直接添加到1D、2D或3D模型中的工具。当然，用户也可以导入已有的SPICE电路。等离子体化学可以通过加载一系列外部碰撞截面来定义，也可以通过在用户界面中直接增加反应和物质来定义。
模块包含的模型有：
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电容耦合等离子体（CCP）
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微波等离子体
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直流放电
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介质阻挡放电（DBD）
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反应气体发生器
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热等离子体
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气态电子会议（GEC）的标准参考模型
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玻兹曼群数据分析
用COMSOL Multiphysics等离子体模块模拟作为气体电子学会议（GEC）标准参考模型的电感耦合等离子体。图中显示了氩气等离子体反应器内部的电子密度。
“等离子体模块真的是一个革命性的产品，因为它融合了广受好评的COMSOL Multiphysics用户界面与工业算法和数值方法。最终形成的产品具有非凡的易用性，可以被用于工业问题和科研问题的求解。”Dan Smith总结说。
等离子体模块亮点：
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常见类型等离子体的专用应用接口
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2-项Boltzmann求解器，利用截面数据计算源系数和传输特性
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用截面数据、查询表格、Arrhenius系数、速率常数或Townsend系数定义反应来源
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当存在静态磁场时，自动计算等离子体传导率和电子的张量传输特性
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通过CHEMKIN文件导入物质的热力学特性和传输特性
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COMSOL在中国，COMSOL Multiphysics是一款业界领先的科学仿真软件，中仿科技公司(CnTech Co.,Ltd)凭借个性化的解决方案、成熟的CAE产品线、专业的市场推广能力以及强有力的技术支持服务赢得了国内众多科研院所以及企业的一致认可，目前国内几乎所有知名大学以及中国科学院旗下各研究所都已选择使用COMSOL Multiphysics作为其科研分析的CAE主要工具。随着中仿科技公司(CnTech Co.,Ltd)在全国的各分公司、CAE技术联合中心，CAE培训中心的成立，提供更专业的更周到的本地化技术服务，目前众多企业也纷纷选用COMSOL Multiphysics作为企业的分析工具,应用全球最先进制造技术，最终增强企业的核心竞争力，保证了企业持续发展。
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